1.
A tiszta helyiség fő funkciója annak a légkör tisztaságának, hőmérsékletének és páratartalmának szabályozása, amely szerint a termékek (például szilícium chips stb.) Kikerülnek, hogy a termékeket jó környezeti térben lehet előállítani és előállítani. Ezt a helyet tiszta helyiségnek nevezzük. A nemzetközi gyakorlat szerint a tisztasági szintet elsősorban az a részecskék száma határozza meg, amely köbméterenkénti levegőt átmérője nagyobb, mint a besorolási standard. Más szavakkal, az úgynevezett pormentes, nem 100% -ban pormentes, hanem egy nagyon kicsi egységben szabályozva. Természetesen azok a részecskék, amelyek megfelelnek az ebben a szabványnak a porszabványnak, már nagyon kicsik a látott közös porhoz képest, de az optikai struktúrák esetében még egy kis por is nagyon nagy negatív hatással lesz, tehát a pormentes, elkerülhetetlen követelmény. Optikai szerkezeti termékek előállításában.
A porrészecskék számának szabályozása, amelynek részecskemérete nagyobb vagy egyenlő, vagy azzal egyenlő, vagy annál egyenlő, köbméterenkénti 0,5 mikron, kevesebb, mint 3520/köbméter, eléri a nemzetközi pormentes szabvány A osztályát. A chip-szintű termeléshez és feldolgozásban használt pormentes szabvány magasabb a porra vonatkozó követelményekkel, mint az A osztályra, és egy ilyen magas színvonalat elsősorban néhány magasabb szintű chip előállításához használják. A porrészecskék számát szigorúan 35 200 köbméterenként szabályozzák, amelyet a tiszta szobaiparban közismert nevén B osztályúnak neveznek.
2. háromféle tiszta szobaállapot
Üres tiszta szoba: Tiszta szoba létesítmény, amelyet építettek és felhasználhatók. Minden releváns szolgáltatással és funkcióval rendelkezik. A létesítményben azonban nincs olyan berendezés, amelyet az üzemeltetők üzemeltetnek.
Statikus tiszta helyiség: Tiszta szoba létesítmény, teljes funkciókkal, megfelelő beállításokkal és telepítéssel, amelyet a beállítások szerint használhatunk vagy használható, de a létesítményben nincsenek üzemeltetők.
Dinamikus tiszta szoba: Tiszta szoba normál használatban, teljes szerviz funkciókkal, felszerelésekkel és személyzettel; Szükség esetén normál munkát lehet végezni.
3. Vezérlőelemek
(1). Eltávolíthatja a levegőben lebegő porrészecskéket.
(2). Megakadályozhatja a porrészecskék képződését.
(3). A hőmérséklet és a páratartalom szabályozása.
(4). Nyomásszabályozás.
(5). A káros gázok kiküszöbölése.
(6). A szerkezetek és rekeszek légszigetelése.
(7). A statikus elektromosság megelőzése.
(8). Az elektromágneses interferencia megelőzése.
(9). A biztonsági tényezők figyelembevétele.
(10). Az energiatakarékosság megfontolása.
4. Osztályozás
Turbulens áramlási típus
A levegő a légkondicionáló dobozból a légkondicionáló és a légszűrő (HEPA) tiszta helyiségében lép be a tiszta helyiségbe, és a partíció fali paneleiből vagy a tiszta helyiség mindkét oldalán megemelt padlóból kerül vissza. A légáram nem mozog lineáris módon, hanem szabálytalan turbulens vagy örvény állapotot mutat. Ez a típus 1000-100 000 osztályú tiszta helyiséghez alkalmas.
Meghatározás: Tiszta helyiség, ahol a légáram egyenetlen sebességgel folyik, és nem párhuzamos, visszaáramlás vagy örvényáram kíséretében.
Alapelv: A turbulens tiszta szobák a légáramlásra támaszkodnak, hogy folyamatosan hígítsák a beltéri levegőt, és fokozatosan hígítsák a szennyezett levegőt a tisztaság elérése érdekében (a turbulens tiszta helyiségeket általában 1000–300 000 feletti tisztasági szinten tervezik).
Jellemzők: A turbulens tiszta szobák többszörös szellőztetésre támaszkodnak a tisztaság és a tisztasági szint elérése érdekében. A szellőztetési változások száma meghatározza a tisztítási szintet a meghatározásban (minél nagyobb a szellőzés, annál magasabb a tisztasági szint)
(1) Öntisztítási idő: Arra az időre utal, amikor a tiszta szoba elkezdi a levegőt a tiszta helyiségbe szállítani a tervezett szellőztetési szám szerint, és a szobában lévő porkoncentráció eléri a tervezett tisztasági szintet, amely várhatóan nem lesz több mint 20 perc (a számításhoz 15 perc felhasználható) A 10 000 osztály várhatóan nem haladja meg a 30 percet (25 percet lehet használni a számításhoz). A 100 000 osztály várhatóan nem haladja meg a 40 percet (30 percet lehet használni. számítás)
(2) A szellőztetési gyakoriság (a fenti öntisztítási időigény szerint) 1000 osztály: 43,5-55,3 alkalommal/óra (standard: 50-szer/óra) 10 000: 23,8-28,6-szor/óra (standard: 25 alkalommal/óra ) 100 000 osztály: 14,4-19,2-szer/óra (standard: 15-szer/óra)
Előnyök: Egyszerű szerkezet, alacsony rendszer-építési költségek, könnyen kibővíthető a tiszta helyiség, bizonyos speciális célú helyeken a pormentes tiszta pad felhasználható a tiszta szoba minőségének javítására.
Hátrányok: A turbulencia által okozott porrészecskék úsznak a beltéri térben, és nehéz kiüríteni, ami könnyen szennyezi a folyamat termékeit. Ezenkívül, ha a rendszert leállítják, majd aktiválják, akkor gyakran hosszú időbe telik a szükséges tisztaság elérése.
Lamináris áramlás
A lamináris áramlású levegő egyenes egyenes vonalban mozog. A levegő 100% -os lefedettségű szűrőn keresztül lép be a helyiségbe, és a megemelt padlón vagy a partíciós táblákon keresztül visszatér. Ez a típus alkalmas tiszta szoba környezetben történő felhasználásra, magasabb tiszta helyiséggel, általában 1 ~ 100 osztályú. Kétféle típus van:
(1) Vízszintes lamináris áramlás: A vízszintes levegőt egyetlen irányban fújják ki a szűrőből, és az ellenkező falon a visszatérő légrendszer visszaküldik. A port szabadban ürítik, légirányítással. Általában a szennyezés súlyosabb a downstream oldalon.
Előnyök: Az egyszerű szerkezet a műtét után rövid idő alatt stabil lehet.
Hátrányok: Az építési költségek magasabbak, mint a turbulens áramlás, és a beltéri teret nem könnyű kibővíteni.
(2) Függőleges lamináris áramlás: A szoba mennyezetét teljesen borítják ULPA szűrőkkel, és a levegőt fentről lefelé fújják, ami magasabb tisztaságot érhet el. A folyamat során vagy a személyzet által generált por gyorsan szabadon engedhető el, anélkül, hogy más munkaterületeket befolyásolna.
Előnyök: Könnyen kezelhető, stabil állapotot lehet elérni a művelet megkezdése után rövid időn belül, és a működési állapot vagy az operátorok nem befolyásolhatják.
Hátrányok: Magas építési költségek, nehezen használható hely, a mennyezeti fogasok sok helyet foglalnak el, és zavaróak a szűrők javításához és cseréjéhez.
Kompozit típus
A kompozit típus az, hogy a turbulens áramlás típusát és a lamináris áramlás típusát kombinálja vagy használja, amelyek a helyi ultra-tiszta levegőt biztosíthatják.
(1) Tisztítsa meg az alagútot: HEPA vagy ULPA szűrőket használjon a folyamatterület vagy a munkaterület 100% -ának fedezésére, hogy a tisztasági szintet a 10. osztály fölé emelje, ami megtakaríthatja a telepítési és üzemeltetési költségeket.
Ez a típus megköveteli, hogy az üzemeltető munkaterületét elkülönítsék a terméktől és a gép karbantartásától, hogy elkerüljék a munka és a minőség karbantartása során a munka és a minőséget.
A tiszta alagutaknak két másik előnye van: A. Könnyen rugalmasan bővíthető; B. A berendezések karbantartása könnyen elvégezhető a karbantartási területen.
(2) Tiszta cső: Kerülje és tisztítsa meg az automatikus gyártósort, amelyen keresztül a termékáramlás áthalad, és növeli a tisztasági szintet a 100. osztály felett. Mivel a termék, az operátor és a portermelő környezet elkülönül egymástól, kis mennyiség A levegőellátás jó tisztaságot érhet el, amely energiát takaríthat meg, és a legmegfelelőbb az automatizált gyártósorokhoz, amelyek nem igényelnek kézi munkát. A gyógyszeripar, az élelmiszer- és félvezető iparágakban alkalmazható.
(3) Tiszta folt: A termékfolyamat területének tisztasági szintje a turbulens tiszta helyiségben, a tiszta helyiség szintjén 10 000 ~ 100 000, 10 ~ 1000 -re növekszik termelési célokra; Tiszta munkapadok, tiszta istállók, előre gyártott tiszta helyiségek és tiszta szekrények tartoznak ebbe a kategóriába.
Tiszta pad: 1. osztály ~ 100.
Tiszta fülke: Egy kicsi hely, amelyet anti-statikus átlátszó műanyag kendő vesz körül, turbulens tiszta helyiségben, független HEPA vagy ULPA és légkondicionáló egységek felhasználásával, hogy magasabb szintű tiszta hely legyen, 10 ~ 1000 szinttel, kb. 2,5 méter, és körülbelül 10 m2 -es lefedettségi terület. Négy pillérrel rendelkezik, és rugalmas használatra mozgatható kerekekkel van felszerelve.
5. légáramlás áramlása
A légáram fontossága
A tiszta szoba tisztaságát gyakran érinti a légáram. Más szavakkal, az emberek által generált por mozgását és diffúzióját, a gépi rekeszeket, az épületszerkezeteket stb. A légáram irányítja.
A tiszta szoba HEPA -t és ULPA -t használ a levegő szűrésére, és porgyűjtési sebessége akár 99,97 ~ 99,9995%, így a szűrő által szűrhető levegő nagyon tiszta lehet. Az emberek mellett azonban vannak porforrások, például gépek a tiszta helyiségben. Amint ezek a generált porok elterjedtek, lehetetlen fenntartani a tiszta helyet, ezért a légáramot a kolidált por gyors ürítéséhez kell használni.
Befolyásoló tényezők
Számos tényező befolyásolja a tiszta helyiség légáramát, például a feldolgozó berendezéseket, a személyzetet, a tiszta szobaegység -anyagokat, a világítótesteket stb. Egyidejűleg a gyártóberendezés feletti légáramlás elterelési pontját is be kell venni. megfontolás.
Az általános üzemeltetési asztal vagy gyártóberendezés felületén lévő légáram -elterelési pontot a tiszta helyiség és a partíciós tábla közötti távolság 2/3 -án kell beállítani. Ilyen módon, amikor az operátor működik, a légáramlás a folyamatterület belsejéből a működési területre áramolhat, és elvonhatja a port; Ha az elterelési pont a folyamatterület előtt van konfigurálva, akkor ez nem megfelelő légáramlás -elterelés lesz. Ebben az időben a légáramlás nagy része a folyamatterület hátuljára áramlik, és a kezelő működése által okozott por a berendezés hátuljára kerül, és a munkapad szennyeződik, és a hozam elkerülhetetlenül csökkenni fog.
Az olyan akadályok, mint a tiszta szobák munkatáblái, örvényáramok lesznek a kereszteződésnél, és a közelben lévő tisztaság viszonylag gyenge lesz. A visszatérő levegő lyuk fúrása a munkaasztalon minimalizálja az örvényáram -jelenséget; Fontos tényezők -e az is, hogy megfelelő -e az összeszerelő anyagok kiválasztása, és hogy a berendezések elrendezése tökéletes -e, hogy a légáram örvényáram -jelenséggé válik -e.
6. A tiszta szoba összetétele
A tiszta helyiség összetétele a következő rendszerekből áll (amelyek egyike sem nélkülözhetetlen a rendszermolekulákban), különben nem lehet teljes és kiváló minőségű tiszta helyiség létrehozása:
(1) Mennyezeti rendszer: beleértve a mennyezeti rudat, az I-gerendát vagy az U-gerendát, a mennyezeti rácsot vagy a mennyezeti keretet.
(2) Légkondicionáló rendszer: beleértve a légi kabinot, a szűrőrendszert, a szélmalmot stb.
(3) Partitionális fal: az ablakokat és az ajtókat is tartalmazza.
(4) Padló: Beleértve az emelt padlót vagy az anti-statikus padlót.
(5) Világítótestek: LED tisztító lapos lámpa.
A tiszta helyiség fő szerkezete általában acélrudakból vagy csontcementből készül, de függetlenül attól, hogy milyen szerkezetű, ennek meg kell felelnie a következő feltételeknek:
A. A hőmérsékleti változások és rezgések miatt nem fordul elő repedés;
B. Nem könnyű porrészecskéket előállítani, és a részecskéket nehéz rögzíteni;
C. alacsony higroszkóposság;
D. A tiszta helyiségben a páratartalom fenntartása érdekében a hőszigetelésnek magasnak kell lennie;
7. Osztályozás felhasználás
Ipari tiszta szoba
Az élettelen részecskék ellenőrzése az objektum. Elsősorban a légpor -részecskék szennyezését szabályozza a munkamenetre, és a belső tér általában pozitív nyomásállapotot tart fenn. Alkalmas a precíziós gépek iparának, az elektronikai iparnak (félvezetők, integrált áramkörök stb.), Az űripar, a nagy tisztségű vegyipar, az atomenergia-ipar, Üveg), számítógépes merevlemez, számítógépes fej gyártása és egyéb iparágak.
Biológiai tiszta helyiség
Elsősorban az élő részecskék (baktériumok) és az élettelen részecskék (por) szennyezését szabályozza a munkamenethez. Osztható;
A. Általános biológiai tiszta helyiség: Elsősorban a mikrobiális (bakteriális) objektumok szennyezését szabályozza. Ugyanakkor belső anyagának képesnek kell lennie arra, hogy ellenálljon a különféle sterilizáló szerek eróziójának, és a belső tér általában garantálja a pozitív nyomást. Alapvetően a belső anyagoknak képesnek kell lenniük arra, hogy ellenálljon az ipari tiszta helyiség különféle sterilizációs kezeléseinek. Példák: Gyógyszeripar, kórházak (műtőhelyek, steril osztályok), élelmiszerek, kozmetikumok, italtermelés, állati laboratóriumok, fizikai és kémiai tesztelő laboratóriumok, vérállomások stb.
B. Biológiai biztonsági tiszta helyiség: Elsősorban a munkavállaló élő részecskék szennyezését szabályozza a külvilág és az emberek számára. A belső nyomást a légkörben negatívnak kell tartani. Példák: bakteriológia, biológia, tiszta laboratóriumok, fizikai műszaki (rekombináns gének, vakcinák készítése)
A postai idő: február-07-2025