A részecskék szigorú vezérlése mellett az elektronikus tiszta helyiség, amelyet a chipgyártó műhelyek, az integrált áramköri pormentes műhelyek és a lemezgyártó műhelyek, szintén szigorúbb követelményekkel rendelkeznek a hőmérséklet és a páratartalom ellenőrzésére, a megvilágításra és a mikro-sokkolásra. Szigorúan távolítsa el a statikus elektromosság hatását a termelési termékekre, hogy a környezet megfeleljen az elektronikus termékek tiszta környezetben történő gyártási folyamatának követelményeinek.
Az elektronikus tiszta helyiség hőmérsékletét és páratartalmát a gyártási folyamat követelményeinek megfelelően kell meghatározni. Ha a termelési folyamatra nincs specifikus követelmény, a hőmérséklet 20–26 ° C lehet, és a relatív páratartalom 30–70%. A személyzet tiszta szobájának és a nappali hőmérséklete 16-28 ℃ lehet. A Kínai Nemzeti GB-50073 szabvány szerint, amely összhangban áll a nemzetközi ISO szabványokkal, az ilyen típusú tiszta helyiség tisztasági szintje 1-9. Közülük az 1-5. Osztály szerint a légáramlás mintázata egyirányú áramlás vagy vegyes áramlás; A 6. osztályú légáramlás nem unidirekcionális áramlás, és a levegőváltozás 50-60-szor/h; A 7. osztályú légáramlás típusa nem unidirekcionális áramlás, és a levegőváltozás 15-25-szer/h; A 8-9. Osztályú légáramlás típusa nem unidirekcionális áramlás, a levegőváltozás 10-15-szer/h.
A jelenlegi előírások szerint a 10 000 osztályú elektronikus tiszta helyiségben lévő zajszintnek nem lehet nagyobb, mint 65dB (A).
1. A függőleges áramlású tiszta helyiség teljes aránya az elektronikus tiszta helyiségben nem lehet kevesebb, mint 60%, és a vízszintes egyirányú áramlású tiszta helyiség nem lehet kevesebb, mint 40%, különben részleges egyirányú áramlás lesz.
2. A statikus nyomáskülönbség az elektronikus tiszta helyiség és a szabadban nem lehet kevesebb, mint 10 pa, és a tiszta légkör és a különböző légtisztítású nem-tisztító területek közötti statikus nyomáskülönbségnek nem lehet kevesebb, mint 5Pa.
3.
4. Kompenzálja a beltéri kipufogó levegő térfogatának és a beltéri pozitív nyomásérték fenntartásához szükséges friss levegőmennyiség összegét.
5. Győződjön meg arról, hogy a tiszta helyiséghez jutó friss levegő mennyisége óránként nem kevesebb, mint 40 négyzetméter.
A postai idő: április-08-2024