A részecskék szigorú ellenőrzése mellett az elektronikus tisztaszobákban, amelyeket chipgyártó műhelyek, integrált áramkörök pormentes műhelyei és lemezgyártó műhelyei képviselnek, szigorúbb követelményeket is támasztanak a hőmérséklet- és páratartalom-szabályozás, a megvilágítás és a mikrosokkok tekintetében. Szigorúan meg kell szüntetni a statikus elektromosság hatását a gyártási termékekre, hogy a környezet tiszta környezetben megfelelhessen az elektronikus termékek gyártási folyamatának követelményeinek.
Az elektronikus tisztaszoba hőmérsékletét és páratartalmát a gyártási folyamat követelményeinek megfelelően kell meghatározni. Ha nincsenek konkrét gyártási folyamatra vonatkozó követelmények, a hőmérséklet 20-26°C, a relatív páratartalom pedig 30%-70% lehet. A személyzeti tisztaszoba és a nappali hőmérséklete 16-28℃ lehet. A kínai GB-50073 nemzeti szabvány szerint, amely összhangban van a nemzetközi ISO szabványokkal, az ilyen típusú tisztaszoba tisztasági szintje 1-9. Ezek közül az 1-5. osztályba tartozó légáramlási minta egyirányú vagy vegyes áramlású; a 6. osztályú légáramlási minta nem egyirányú áramlású, a légcsere 50-60-szor/h; a 7. osztályú légáramlási típus nem egyirányú áramlású, a légcsere 15-25-szor/h; a 8-9. osztályú légáramlási típus nem egyirányú áramlású, a légcsere 10-15-szor/h.
A jelenlegi előírások szerint a 10 000-es osztályú elektronikus tisztatérben a zajszint nem haladhatja meg a 65 dB(A)-t.
1. Az elektronikus tisztatérben a függőleges áramlású tisztatér teljes aránya nem lehet kevesebb, mint 60%, a vízszintes egyirányú áramlású tisztatér pedig nem lehet kevesebb, mint 40%, különben részleges egyirányú áramlás lesz.
2. Az elektronikus tisztaszoba és a szabadban lévő tér közötti statikus nyomáskülönbség nem lehet kevesebb, mint 10 Pa, a tiszta és a nem tiszta, eltérő levegőtisztaságú területek közötti statikus nyomáskülönbség pedig nem lehet kevesebb, mint 5 Pa.
3. Egy 10000-es osztályú elektronikus tisztaszobában a friss levegő mennyiségének a következő két tétel értékét kell felvennie.
4. Kompenzálja a beltéri elszívott levegő mennyiségének és a friss levegő mennyiségének összegét, amely a beltéri pozitív nyomásérték fenntartásához szükséges.
5. Biztosítsa, hogy a tiszta helyiségbe juttatott friss levegő mennyisége személyenként óránként ne legyen kevesebb, mint 40 négyzetméter.
Közzététel ideje: 2024. április 8.