A szigorított részecskék ellenőrzése mellett a chipgyártó műhelyek, az integrált áramköri pormentes műhelyek és a lemezgyártó műhelyek által képviselt elektronikus tisztatérben is szigorúbb követelmények vonatkoznak a hőmérséklet- és páratartalom-szabályozásra, a megvilágításra és a mikrosokkokra. Szigorúan távolítsa el a statikus elektromosság termelési termékekre gyakorolt hatását, hogy a környezet tiszta környezetben megfeleljen az elektronikai termékek gyártási folyamatának követelményeinek.
Az elektronikus tisztatér hőmérsékletét és páratartalmát a gyártási folyamat követelményeinek megfelelően kell meghatározni. Ha a gyártási folyamatra nincsenek speciális követelmények, a hőmérséklet 20-26 °C, a relatív páratartalom pedig 30-70%. A személyzeti tisztaszoba és a nappali hőmérséklete 16-28 ℃ lehet. A nemzetközi ISO szabványoknak megfelelő GB-50073 kínai nemzeti szabvány szerint az ilyen típusú tisztaszoba tisztasági foka 1-9. Ezek közül az 1-5. osztályban a légáramlási mintázat egyirányú vagy vegyes áramlású; 6. osztályú légáramlási minta nem egyirányú áramlás, és a légcsere 50-60-szor/óra; a 7. osztályú légáramlási típus nem egyirányú áramlású, és a légcsere 15-25-szer/óra; osztályú 8-9 légáramlási típus nem egyirányú áramlású, a légcsere 10-15-szer/óra.
A jelenlegi előírások szerint a 10 000 osztályú elektronikus tisztatérben a zajszint nem haladhatja meg a 65 dB(A) értéket.
1. A függőleges áramlású tisztatér teljes aránya az elektronikus tisztatérben nem lehet kevesebb, mint 60%, és a vízszintes egyirányú áramlású tisztatér nem lehet kevesebb, mint 40%, különben részleges egyirányú áramlás lesz.
2. Az elektronikus tisztaszoba és a szabadtér közötti statikus nyomáskülönbség nem lehet kisebb 10 Pa-nál, a tiszta területek és a nem tiszta, eltérő levegőtisztaságú területek közötti statikus nyomáskülönbség pedig nem lehet kisebb 5 Pa-nál.
3. Egy 10000 osztályú elektronikus tisztatérben a friss levegő mennyisége a következő két tétel értékének feleljen meg.
4. Kompenzálja a beltéri elszívott levegő mennyiségének és a beltéri pozitív nyomás értékének fenntartásához szükséges friss levegő mennyiségének összegét.
5. Győződjön meg arról, hogy a tiszta helyiségbe jutó friss levegő mennyisége személyenként és óránként legalább 40 négyzetméter.
Feladás időpontja: 2024.08.08