A tűzvédelmi létesítmények fontos részét képezik a tisztatérnek. Fontosságuk nemcsak a technológiai berendezések és az építési projektek költsége miatt van, hanem azért is, mert a tisztatér viszonylag zárt épület, sőt némelyik ablaktalan műhely is. A tisztatér átjárói keskenyek és kanyargósak, ami megnehezíti a személyzet evakuálását és a tűzoltást. Az emberek életének és vagyonának biztonsága érdekében a tervezés során a "megelőzés mindenekelőtt, a megelőzés és a tűz kombinálása" tűzvédelmi politikát kell alkalmazni. A tisztatér tervezése során a hatékony tűzvédelmi intézkedések mellett a szükséges tűzoltó létesítményeket is fel kell állítani. A tisztatér gyártási jellemzői a következők:
(1) Számos precíziós berendezés és műszer létezik, és különféle gyúlékony, robbanásveszélyes, maró és mérgező gázokat és folyadékokat használnak. Egyes gyártási alkatrészek tűzveszélyessége a C kategóriába tartozik (például oxidációs diffúzió, fotolitográfia, ionimplantáció, nyomtatás és csomagolás stb.), mások pedig az A kategóriába (például egykristályos húzás, epitaxia, kémiai gőzfázisú leválasztás stb.).
(2) A tisztaszoba rendkívül légmentes. Tűz esetén nehéz lesz a személyzetet evakuálni és eloltani a tüzet.
(3) A tiszta helyiségek építési költsége magas, a berendezések és eszközök pedig drágák. Tűz esetén a gazdasági veszteség hatalmas lesz.
A fenti jellemzők alapján a tiszta helyiségeknek nagyon magasak a tűzvédelmi követelményeik. A tűzvédelmi és vízellátó rendszer mellett rögzített tűzoltó berendezéseket is fel kell szerelni, különösen a tiszta helyiségben található értékes berendezéseket és eszközöket kell gondosan kiválasztani.
Közzététel ideje: 2024. április 11.