1. A tisztatéren belül különböző típusú vegyi anyagok tároló és elosztó helyiségeket kell kialakítani a termékgyártási folyamat követelményei és a vegyi anyag fizikai és kémiai tulajdonságai alapján. A szükséges vegyi anyagokat csővezetékeken kell ellátni a gyártóberendezésekhez. A tisztatéren belüli vegyi anyagok tároló és elosztó helyiségei jellemzően a segédüzemi termelési területen találhatók, jellemzően egyszintes vagy többszintes épület földszintjén, egy külső fal közelében. A vegyi anyagokat fizikai és kémiai tulajdonságaik szerint elkülönítve kell tárolni. Az inkompatibilis vegyi anyagokat külön vegyi anyagok tároló és elosztó helyiségekben kell elhelyezni, szilárd válaszfalakkal elválasztva. A veszélyes vegyi anyagokat külön tároló vagy elosztó helyiségekben kell tárolni, amelyek szomszédos helyiségei között legalább 2,0 órás tűzállósági besorolással kell rendelkezni. Ezeket a helyiségeket a gyártóépület első emeletén lévő helyiségben, egy külső fal közelében kell elhelyezni.
2. Az elektronikai iparban a tisztaszobákban gyakran találhatók tároló- és elosztóhelyiségek savak és lúgok, valamint gyúlékony oldószerek számára. A savtároló és -elosztó helyiségekben jellemzően kénsav, foszforsav, hidrogén-fluorid és sósav tároló- és elosztórendszerei találhatók. Az lúgtároló és -elosztó helyiségekben jellemzően nátrium-hidroxid, hidroxidpogácsa, ammónium-hidroxid és tetrametil-ammónium-hidroxid tároló- és elosztórendszerei találhatók. A gyúlékony oldószerek tároló- és elosztóhelyiségeiben jellemzően szerves oldószerek, például izopropil-alkohol (IPA) tároló- és elosztórendszerei találhatók. Az integrált áramköri lapkagyártó üzemek tisztaszobáiban polírozó iszap tároló- és elosztóhelyiségek is találhatók. A vegyi anyagok tároló- és elosztóhelyiségei jellemzően a tiszta termelési területek közelében vagy azok mellett találhatók, jellemzően az első emeleten, közvetlen kültéri hozzáféréssel.
3. A vegyi anyagok tároló és elosztó helyiségeit a termék előállításához szükséges vegyi anyagok típusa, mennyisége és felhasználási jellemzői alapján különböző kapacitású tárolóhordókkal vagy tartályokkal kell felszerelni. A szabványoknak és előírásoknak megfelelően a vegyi anyagokat külön kell tárolni és osztályozni kell. A használt hordók vagy tartályok kapacitásának elegendőnek kell lennie a vegyi anyagok hét napos fogyasztásához. Napi hordókat vagy tartályokat is biztosítani kell, amelyek kapacitása elegendő a termék előállításához szükséges vegyi anyagok 24 órás fogyasztásának fedezésére. A gyúlékony oldószerek és oxidáló vegyi anyagok tároló és elosztó helyiségeit el kell különíteni a szomszédos helyiségektől, és szilárd, 3,0 órás tűzállósági besorolású tűzálló falakkal kell elválasztani őket. Ha egy többszintes épület első emeletén találhatók, akkor azokat nem éghető, legalább 1,5 órás tűzállósági besorolású padlókkal kell elválasztani a többi területtől. A tisztatérben található kémiai biztonsági és felügyeleti rendszer központosított vezérlőhelyiségét külön helyiségben kell elhelyezni.
4. A tisztatéren belüli vegyi tároló és elosztó helyiségek magasságát a berendezések és a csővezetékek elrendezésére vonatkozó követelmények alapján kell meghatározni, és általában nem lehet kevesebb 4,5 méternél. Ha a tisztatér melléktermelési területén belül található, a vegyi tároló és elosztó helyiség magasságának meg kell egyeznie az épület magasságával.
Közzététel ideje: 2025. augusztus 1.