A részecskék forrásai szervetlen részecskékre, szerves részecskékre és élő részecskékre oszthatók. Az emberi szervezetben könnyen okozhatnak légzőszervi és tüdőbetegségeket, valamint allergiát és vírusfertőzéseket is; a szilíciumchipek esetében a porrészecskék tapadása deformációt vagy rövidzárlatot okozhat az integrált áramköri áramkörökben, ami miatt a chipek elveszítik működőképességüket, így a mikroszennyező források ellenőrzése a tisztatér-gazdálkodás fontos részévé vált.
A tisztatéri környezetszabályozás fontossága abban rejlik, hogy a gyártási folyamat környezeti feltételei megfeleljenek a meghatározott tisztasági előírásoknak, ami számos iparág számára kulcsfontosságú. A tisztatéri környezetszabályozás fontossága és konkrét szerepe a következő:
1. Biztosítsa a termékminőséget
1.1 A szennyezés megelőzése: Az olyan iparágakban, mint a félvezetők, a gyógyszeripar és az orvostechnikai eszközök gyártása, az apró részecskékből álló szennyező anyagok termékhibákat vagy meghibásodásokat okozhatnak. A tisztatér levegőminőségének és részecskekoncentrációjának szabályozásával hatékonyan megakadályozható, hogy ezek a szennyező anyagok hatással legyenek a termékre.
A kezdeti hardverberuházásokon túl a tisztatér tisztaságának fenntartásához és ellenőrzéséhez jó „szoftver” menedzsment rendszerre is szükség van a jó tisztaság fenntartásához. A kezelőknek van a legnagyobb hatása a tisztatér tisztaságára. Amikor a kezelők belépnek a tisztatérbe, a por jelentősen megnő. Amikor emberek sétálnak oda-vissza, a tisztaság azonnal romlik. Látható, hogy a tisztaság romlásának fő oka az emberi tényezők.
1.2 Állandóság: A tisztatéri környezet segít fenntartani a gyártási folyamat állandóságát és megismételhetőségét, ezáltal biztosítva a stabil termékminőséget.
Ami az üvegfelületet illeti, a porrészecskék megtapadása karcolásokat, rövidzárlatot, buborékokat és egyéb rossz folyamatminőséget okozhat, ami selejtet eredményez. Ezért a szennyező források ellenőrzése a tisztatér-gazdálkodás fontos részévé vált.
Külső por behatolása és megelőzése
A tisztatérben megfelelő pozitív nyomást kell fenntartani (>0,5 mm/Hg), az előzetes építési projektet gondosan kell elvégezni a levegőszivárgás elkerülése érdekében, valamint a személyzetet, a berendezéseket, a nyersanyagokat, a szerszámokat, a fogyóeszközöket stb. a tisztatérbe való behozatal előtt meg kell tisztítani és le kell törölni. Ugyanakkor a tisztítóeszközöket megfelelően kell elhelyezni, és rendszeresen cserélni vagy tisztítani kell.
Porképződés és megelőzése tiszta helyiségekben
A tisztatéri anyagok, például válaszfalak és padlók megfelelő kiválasztása, a folyamatberendezésekben keletkező por szabályozása, azaz a rendszeres karbantartás és tisztítás, a termelési személyzet nem sétálhat és nem végezhet nagy testmozgásokat a telephelyén, és megelőző intézkedéseket, például ragadós szőnyegek elhelyezését tesznek speciális állomásokon.
2. A termelési hatékonyság javítása
2.1 A selejtarány csökkentése: A gyártási folyamatban keletkező szennyeződések és szennyező anyagok csökkentésével csökkenthető a selejtarány, növelhető a hozam, és így javítható a termelési hatékonyság.
Például: A wafer gyártása 600 lépésből áll. Ha az egyes folyamatok hozama 99%, akkor mennyi a 600 folyamatlépés teljes hozama? Válasz: 0,99600 = 0,24%.
Ahhoz, hogy egy folyamat gazdaságosan megvalósítható legyen, milyen magasnak kell lennie az egyes lépések hozamának?
•0,999600 = 54,8%
•0,9999600=94,2%
Minden egyes folyamathozamnak el kell érnie a 99,99%-ot ahhoz, hogy a végső folyamathozam meghaladja a 90%-ot, és a mikrorészecskék szennyeződése közvetlenül befolyásolja a folyamathozamot.
2.2 A folyamat felgyorsítása: A tiszta környezetben végzett munka csökkentheti a felesleges takarítási és átdolgozási időt, így a termelési folyamat hatékonyabbá válik.
3. A személyzet egészségének és biztonságának biztosítása
3.1 Munkaegészségügy: Egyes, káros anyagokat kibocsátó termelési folyamatok esetében a tiszta helyiségek megakadályozhatják a káros anyagok külső környezetbe való terjedését, és megvédhetik a munkavállalók egészségét. Az emberiség fejlődése óta a technológia, a berendezések és a tudás sokat fejlődött, de a levegő minősége romlott. Egy ember élete során körülbelül 270 000 m3 levegőt lélegzik be, és idejének 70-90%-át zárt térben tölti. Az apró részecskéket az emberi test belélegzi, és a légzőrendszerben rakódnak le. Az 5-30 µm-es részecskék az orrgaratban, az 1-5 µm-es részecskék a légcsőben és a hörgőkben, az 1 µm alatti részecskék pedig az alveoláris falban rakódnak le.
Azok az emberek, akik hosszú ideig olyan helyiségben tartózkodnak, ahol nincs elegendő friss levegő, hajlamosak a „beltéri szindrómára”, amelynek tünetei lehetnek például fejfájás, mellkasi szorítás és fáradtság, valamint légzőszervi és idegrendszeri betegségekre is. Hazám nemzeti szabványa, a GB/T18883-2002 előírja, hogy a friss levegő mennyisége nem lehet kevesebb, mint 30 m3/h személyenként.
A tisztaszoba friss levegőjének mennyisége a következő két tétel közül a maximális értéket veheti fel:
a. A beltéri elszívott levegő mennyiségének kompenzálásához és a beltéri pozitív nyomásérték biztosításához szükséges levegőmennyiség összege.
b. Biztosítsa a tisztatéri személyzet számára szükséges friss levegőt. A tisztatéri tervezési előírások szerint az óránkénti friss levegőmennyiség személyenként legalább 40 m3.
3.2 Biztonságos gyártás: A környezeti paraméterek, például a páratartalom és a hőmérséklet szabályozásával elkerülhetők a biztonsági veszélyek, például az elektrosztatikus kisülések, és így biztosítható a gyártásbiztonság.
4. Szabályozási és szabványbeli követelményeknek való megfelelés
4.1 Iparági szabványok: Számos iparág szigorú tisztasági szabványokkal rendelkezik (például ISO 14644), és a termelést meghatározott minőségű tiszta helyiségekben kell végezni. Ezen szabványok betartása nemcsak szabályozási követelmény, hanem a vállalati versenyképesség tükröződése is.
A tiszta munkapad, tiszta fészer, lamináris áramlású áteresztő ablak, ventilátor szűrőegység FFU, tiszta szekrény, lamináris áramlású burkolat, mérlegkupak, tiszta szita, öntisztító, légzuhany sorozatú termékek esetében szabványosítani kell a meglévő termékek tisztasági vizsgálatának módszereit a termékek megbízhatóságának javítása érdekében.
4.2 Tanúsítás és audit: Harmadik féltől származó tanúsító ügynökségek auditjának sikeres teljesítése és a vonatkozó tanúsítványok (például GMP, ISO 9001 stb.) megszerzése az ügyfelek bizalmának növelése és a piaci hozzáférés bővítése érdekében.
5. A technológiai innováció előmozdítása
5.1 K+F támogatás: A tisztaszobák ideális kísérleti környezetet biztosítanak a csúcstechnológiás termékfejlesztéshez, és elősegítik az új termékek fejlesztésének felgyorsítását.
5.2 Folyamatoptimalizálás: Szigorúan ellenőrzött környezetben könnyebb megfigyelni és elemezni a folyamatváltozások hatását a termék teljesítményére, ezáltal elősegítve a folyamatok fejlesztését.
6. A márkaimázs erősítése
6.1 Minőségbiztosítás: A magas színvonalú, tiszta gyártóüzemek javíthatják a márkaimázst és növelhetik a vásárlók bizalmát a termékminőségben.
6.2 Piaci versenyképesség: A tiszta környezetben előállítható termékeket gyakran a magas minőség és a nagyfokú megbízhatóság szimbólumának tekintik, ami segít a vállalatoknak kitűnni a kiélezett piaci versenyben.
7. Csökkentse a javítási és karbantartási költségeket
7.1 A berendezések élettartamának meghosszabbítása: A tiszta körülmények között működő gyártóberendezések és szerszámok kevésbé érzékenyek a korrózióra és a kopásra, ezáltal meghosszabbítják az élettartamot, és csökkentik a karbantartás gyakoriságát és költségeit.
7.2 Energiafogyasztás csökkentése: A tiszta helyiségek tervezésének és kezelésének optimalizálásával javítsa az energiahatékonyságot, csökkentse az energiafogyasztást és az üzemeltetési költségeket.
A tisztaszoba üzemeltetésének négy alapelve:
1. Ne hozzon be:
A HEPA szűrő kerete nem szivároghat.
A tervezett nyomást beltérben kell tartani.
A kezelőknek a légbefúvás után át kell öltözniük és be kell lépniük a tisztaszobába.
Minden anyagot, berendezést és szerszámot meg kell tisztítani, mielőtt behoznák.
2. Ne generáljon:
Az embereknek pormentes ruhát kell viselniük.
Csökkentsd a felesleges műveleteket.
Ne használjon könnyen porolható anyagokat.
Felesleges tárgyakat nem lehet behozni.
3. Ne halmozzon fel:
Nem lehetnek nehezen tisztítható vagy tisztítható sarkok és gépperifériák.
Próbálja meg minimalizálni a szabadon lévő légcsatornákat, vízcsöveket stb. zárt térben.
A tisztítást a szabványos módszereknek és a megadott időpontoknak megfelelően kell elvégezni.
4. Azonnal távolítsa el:
Növeld a légcserék számát.
Kipufogógáz a port termelő rész közelében.
Javítsa a légáramlás alakját, hogy megakadályozza a por termékhez való tapadását.
Röviden, a tiszta helyiségek környezeti szabályozása nagy jelentőséggel bír a termékminőség biztosításában, a termelési hatékonyság javításában, a személyzet egészségének és biztonságának védelmében, a szabályozási követelmények teljesítésében, a technológiai innováció előmozdításában és a márkaimázs javításában. A vállalatoknak teljes mértékben figyelembe kell venniük ezeket a tényezőket a tiszta helyiségek építésekor és karbantartásakor, hogy biztosítsák a termelés és a kutatás-fejlesztés igényeinek kielégítését.
Közzététel ideje: 2025. február 12.