Az IC -gyártóiparban a chip hozamértéke szorosan kapcsolódik a chipen lerakódott levegő részecskék méretéhez és számához. Egy jó légáramlás -szervezet elviheti a porforrás által generált részecskéket a tiszta helyiségtől, hogy biztosítsa a tiszta helyiség tisztaságát, azaz a tiszta helyiség légáramlása létfontosságú szerepet játszik az IC -termelés hozamát. A tiszta helyiségben a légáram -szervezet kialakításának a következő célokat kell elérnie: csökkentse vagy kiküszöbölje az örvényáramot az áramlási mezőben, hogy elkerülje a káros részecskék visszatartását; Fenntartja a megfelelő pozitív nyomásgradienst a keresztszennyezés megelőzése érdekében.
Légáramlási erő
A tiszta szoba elve szerint a részecskékre ható erők közé tartozik a tömeges erő, a molekuláris erő, a részecskék közötti vonzás, a légáramlás stb.
Airflow erő: A szállítás, a visszatérő légáram, a hő konvekciós légáram, a mesterséges keverés és más légáramlások által okozott légáramlás által okozott erőre vonatkozik, egy bizonyos áramlási sebességgel a részecskék hordozásához. A tiszta helyiség környezetének technikai ellenőrzése érdekében a legfontosabb tényező a légáramlás.
A kísérletek kimutatták, hogy a légáramlás mozgásában a részecskék majdnem azonos sebességgel követik a légáram mozgását. A levegőben lévő részecskék állapotát a légáramlás határozza meg. A beltéri részecskéket érintő légáramlások elsősorban: levegőellátási légáramlás (beleértve az elsődleges légáramot és a másodlagos légáramot), a légáramot és a hőkonvekciós légáramot, amelyet a sétáló emberek okoznak, valamint a folyamat működése és az ipari berendezések által okozott légáramlás. A tiszta helyiségekben a különböző levegőellátási módszerek, a sebességi interfészek, az üzemeltetők és az ipari berendezések, valamint az indukált jelenségek mind a tisztasági szintet befolyásoló tényezők.
A légáram szervezését befolyásoló tényezők
1. A levegőellátási módszer hatása
(1). Légellátási sebesség
Az egységes légáramlás biztosítása érdekében a levegőellátás sebességének egyirányú tiszta helyiségben egységesnek kell lennie; A levegőellátás felületének halott zónájának kicsinek kell lennie; és a nyomásesésnek az ULPA -ban szintén egységesnek kell lennie.
Egységes levegőellátási sebesség: Vagyis a légáram egyenetlenségét ± 20%-on belül szabályozzák.
Kevesebb halott zóna a levegőellátás felületén: Nemcsak az ULPA keret síkterületét kell csökkenteni, hanem ennél is fontosabb, hogy a moduláris FFU -t kell alkalmazni a redundáns keret egyszerűsítése érdekében.
A függőleges egyirányú légáramlás biztosítása érdekében a szűrő nyomásesése kiválasztása szintén nagyon fontos, megkövetelve, hogy a szűrőben lévő nyomásvesztés nem eltérhet.
(2). Az FFU rendszer és az axiális áramlási ventilátor rendszer összehasonlítása
Az FFU egy ventilátorral és szűrővel (ULPA) levő levegőellátó egység. Miután a levegőt az FFU centrifugális ventilátora szívja be, a dinamikus nyomást statikus nyomásgá alakítják a légcsatornában, és az ULPA egyenletesen fújja ki. A mennyezetre gyakorolt levegőellátási nyomás negatív nyomás, így a szűrő cseréjekor nem szivárog a tiszta helyiségbe. A kísérletek kimutatták, hogy az FFU rendszer jobb, mint az axiális áramlás ventilátorrendszere a levegő kimeneti egységessége, a légáram párhuzamossága és a szellőzés hatékonyságának indexe szempontjából. Ennek oka az, hogy az FFU rendszer légáramának párhuzamossága jobb. Az FFU rendszer használata jobbá teheti a tiszta helyiség légáramát.
(3). Az FFU saját struktúrájának befolyása
Az FFU elsősorban ventilátorokból, szűrőkből, légáram -vezető eszközökből és más alkatrészekből áll. Az ULPA rendkívül nagy hatékonysági szűrője a legfontosabb garancia arra, hogy a tiszta helyiség eléri-e a tervezés szükséges tisztaságát. A szűrő anyaga szintén befolyásolja az áramlási mező egységességét. Ha durva szűrőanyagot vagy lamináris áramlólemezet adnak a szűrő aljzatához, akkor a kimenetelű áramlási mező könnyen egyenruhát lehet készíteni.
2. A tisztaság különböző sebesség -interfészeinek hatása
Ugyanebben a tiszta helyiségben, a függőleges egyirányú áramlás munkaterülete és a nem működő függőleges áramlás között, az ULPA kimenetének légsebességének különbsége miatt, vegyes örvényhatást generálnak az interfészen, és ez az interfész turbulenssé válik A légáramlási zóna különösen nagy levegő turbulencia intenzitással. A részecskék továbbíthatók a berendezés felületére, és szennyezik a berendezéseket és az ostyákat.
3. A személyzet és a felszerelés hatása
Ha a tiszta szoba üres, a szobában a légáramlás jellemzői általában megfelelnek a tervezési követelményeknek. Amint a felszerelés belép a tiszta helyiségbe, a személyzet mozgatását és a termékeket továbbítják, elkerülhetetlenül akadályokat jelent a légáramlás szervezése. Például a berendezés kiálló sarkaiban vagy széleiben a gázt eltereljük, hogy turbulens zónát képezzenek, és a zónában lévő folyadékot a gáz nem könnyű elviszi, ezáltal szennyezést okozva. Ugyanakkor a berendezés felülete folyamatos működés miatt felmelegszik, és a hőmérsékleti gradiens a gép közelében egy visszaverő zónát okoz, amely növeli a részecskék felhalmozódását az visszaverődés zónájában. Ugyanakkor a magas hőmérséklet könnyen elmenekül a részecskék számára. A kettős hatás súlyosbítja a vertikális lamináris tisztaság ellenőrzésének nehézségét. A tiszta helyiségben lévő operátorokból származó por nagyon könnyű ragaszkodni az ilyen visszaverődő zónák ostyáinak.
4. A visszatérő légpadló hatása
Ha a padlón áthaladó visszatérő levegő ellenállása eltérő, nyomáskülönbség alakul ki, így a levegő kevesebb ellenállás irányába áramlik, és az egyenletes légáramlás nem érhető el. A jelenlegi népszerű tervezési módszer az emelt padlók használata. Ha a megnövekedett padlók nyitási sebessége 10%, a szoba működési magasságában a légáramlás egyenletesen eloszlik. Ezenkívül szigorú figyelmet kell fordítani a tisztítási munkákra a padló szennyeződésének csökkentése érdekében.
5. indukciós jelenség
Az úgynevezett indukciós jelenség arra a jelenségre utal, hogy az egyenletes áramlás ellenkező irányában lévő légáramot generálják, és a szobában vagy a szomszédos szennyezett területen lévő por előállított por a felfelé irányuló oldalra indukálódik, úgy, hogy a por pedig a por, így szennyezheti a chipet. A következők a lehetséges indukciós jelenségek:
(1). Vaklemez
Egy tiszta helyiségben, függőleges egyirányú áramlással, a falon lévő ízületek miatt általában vannak nagy vaklemezek, amelyek turbulenciát eredményeznek a helyi visszatérési áramlásban.
(2). Lámpák
A tiszta helyiségben lévő világítótestek nagyobb hatással lesznek. Mivel a fluoreszkáló lámpák hője a légáramlás felemelkedését okozza, a fluoreszkáló lámpák alatt nem lesz turbulens terület. Általában a tiszta helyiségben lévő lámpákat könnycsepp alakúvá tervezték, hogy csökkentsék a lámpáknak a légáramlás szervezésére gyakorolt hatását.
(3.) A falak közötti rések
Ha hiányosságok vannak a különböző tisztasági szintekkel rendelkező partíciók között, vagy a partíciók és a mennyezetek között, akkor az alacsony tisztasági követelményekkel rendelkező területről származó por át lehet helyezni a szomszédos területre, magas tisztasági követelményekkel.
(4). Távolság a gép és a padló vagy a fal között
Ha a gép és a padló vagy a fal közötti rés nagyon kicsi, akkor visszapattanási turbulenciát okoz. Ezért hagyjon rést a berendezés és a fal között, és emelje fel a gépet, hogy elkerülje, hogy a gép közvetlenül megérintse a talajt.
A postai idő: február-05-2025