A chip -gyártóiparban a chip hozama szorosan kapcsolódik a chipen lerakódott levegő részecskék méretéhez és számához. A jó légáramlás -szervezés a porforrásokból előállított részecskéket távolíthatja el a tiszta helyiségtől, és biztosíthatja a tiszta szoba tisztaságát. Vagyis a Cleanroom légáramlási szervezete létfontosságú szerepet játszik a chip előállításának hozamában. A tiszta szoba légáramának szervezésének megtervezésében elérendő célok a következők: az örvényáramok csökkentése vagy kiküszöbölése az áramlási területen, hogy elkerüljék a káros részecskék visszatartását; A megfelelő pozitív nyomásgradiens fenntartása érdekében a keresztszennyezés megelőzése érdekében.
A tiszta helyiség elve szerint a részecskékre ható erők között szerepel a tömegerő, a molekuláris erő, a részecskék közötti vonzás, a légáramlási erő stb.
Airflower erő: utal az ellátás és a visszatérő légáram, a hő konvekciós légáram, a mesterséges agitáció és más légáramlások által okozott légáramlás erejére, egy bizonyos áramlási sebességgel a részecskék hordozásához. A tiszta helyiség környezeti technológiájának ellenőrzése érdekében a légáramlás a legfontosabb tényező.
A kísérletek kimutatták, hogy a légáramlás mozgásában a részecskék szinte pontosan azonos sebességgel követik a légáramot. A levegőben lévő részecskék állapotát a légáramlás határozza meg. A légáramnak a beltéri részecskékre gyakorolt fő hatása a következők: légáram (beleértve az elsődleges légáramot és a másodlagos légáramot), a légáramot és a hőkonvekciós légáramot, amelyet a sétáló emberek okoznak, valamint a légáramlás hatása a részecskékre, amelyeket a folyamatműveletek és az ipari berendezések okoztak. A tiszta szobákban a különféle levegőellátási módszerek, sebességi interfészek, üzemeltetők és ipari berendezések, indukált jelenségek stb., Mind olyan tényezők, amelyek befolyásolják a tisztasági szintet.
1. A levegőellátási módszer hatása
(1) A levegőellátási sebesség
Az egységes légáramlás biztosítása érdekében az egyirányú áramlású tiszta helyiség légszállításának egyenletesnek kell lennie; A levegőellátás felületén lévő halott zónának kicsinek kell lennie; és a HEPA szűrőben a nyomásesésnek is egyenletesnek kell lennie.
A levegőellátási sebesség egységes: vagyis a légáram egyenetlenségét ± 20%-on belül szabályozzák.
A levegőellátás felületén kevesebb holtter van: nemcsak a HEPA keret síkterületét kell csökkenteni, hanem ennél is fontosabb, hogy a moduláris FFU -t kell használni a redundáns keret egyszerűsítésére.
Annak biztosítása érdekében, hogy a légáram függőleges és egyirányú legyen, a szűrő nyomásesése kiválasztása szintén nagyon fontos, és szükség van arra, hogy a szűrőben lévő nyomásvesztés ne torzítson.
(2) Az FFU rendszer és az axiális áramlási ventilátor rendszer összehasonlítása
Az FFU egy ventilátorral és HEPA szűrővel ellátott levegőellátó egység. A levegőt az FFU centrifugális ventilátora szívja be, és a dinamikus nyomást statikus nyomásmá alakítja a légcsatornaban. A HEPA szűrő egyenletesen fújja ki. A mennyezeti levegőellátási nyomás negatív nyomás. Ilyen módon a szűrő cseréjekor nem szivárog a por tiszta helyiségbe. A kísérletek kimutatták, hogy az FFU rendszer jobb, mint az axiális áramlás ventilátorrendszere a levegő kimeneti egységessége, a légáram párhuzamossága és a szellőzés hatékonysági indexe szempontjából. Ennek oka az, hogy az FFU rendszer légáramának párhuzamossága jobb. Az FFU rendszer használata javíthatja a légáramlás szervezését a tiszta helyiségben.
(3) Az FFU saját struktúrájának befolyása
Az FFU elsősorban ventilátorokból, szűrőkből, légáramlókból és más alkatrészekből áll. A HEPA szűrő a legfontosabb garancia a tiszta helyiség számára, hogy elérje a tervezéshez szükséges tisztaságot. A szűrő anyaga szintén befolyásolja az áramlási mező egységességét. Ha durva szűrőanyagot vagy áramlási lemezt adnak a szűrő aljzatához, a kimeneti áramlási mező könnyen egyenruhát lehet készíteni.
2. A sebesség interfész hatása a különböző tisztasággal
Ugyanebben a tiszta helyiségben, a munkaterület és a függőleges egyirányú áramlású nem működő terület között, a HEPA dobozban a légsebesség különbsége miatt, vegyes örvényhatás fog fordulni az interfészen, és ez a felület turbulenssé válik Airflow zóna. A levegő turbulenciájának intenzitása különösen erős, és a részecskék továbbíthatók a berendezés gépének felületére, és szennyezik a berendezéseket és az ostyákat.
3. Hatás a személyzetre és a felszerelésre
Ha a tiszta szoba üres, a szobában a légáramlás jellemzői általában megfelelnek a tervezési követelményeknek. Amint a felszerelések a tiszta helyiségbe lépnek, az emberek mozognak, és termékeket szállítanak, elkerülhetetlenül akadályok vannak a légáramlás szervezésében, például a berendezésgépből kiálló éles pontok. A sarkokban vagy éleknél a gáz elterel, hogy turbulens áramlási területet képezzen, és a területen lévő folyadékot a bejövő gáz nem fogja könnyen elhozni, ezáltal szennyezést okozva.
Ugyanakkor a mechanikus berendezés felületét folyamatos működés miatt melegítik, és a hőmérsékleti gradiens a gép közelében egy visszaverő területet okoz, amely növeli a részecskék felhalmozódását az visszaverődés területén. Ugyanakkor a magas hőmérséklet könnyen elmenekül a részecskék számára. A kettős hatás fokozza a teljes függőleges réteget. A patak tisztaságának ellenőrzésének nehézsége. A tiszta helyiségben lévő operátorokból származó por könnyen ragaszkodhat az ostromokhoz ezekben az visszaverődésekben.
4. A visszatérő légpadló hatása
Ha a padlón áthaladó visszatérő levegő ellenállása eltérő, a nyomáskülönbség bekövetkezik, ami miatt a levegő a kis ellenállás irányába áramlik, és az egységes légáramlás nem érhető el. A jelenlegi népszerű tervezési módszer az emelt padló használata. Ha a megemelt padló nyitási aránya 10%, akkor a légáramlás sebessége egyenletesen eloszlik a beltéri munka magasságában. Ezenkívül szigorú figyelmet kell fordítani a tisztítási munkákra, hogy csökkentsék a padlószennyezés forrását.
5. indukciós jelenség
Az úgynevezett indukciós jelenség arra utal, hogy a légáramlás az egyenletes áramlás ellenkező irányba generálódik, és a szomszédos szennyezett területeken a helyiségben vagy a porban előállított port a felfelé irányuló oldalra indukálja, ezáltal a por szennyeződését okozva az ostyát. A lehetséges indukált jelenségek a következőket tartalmazzák:
(1) Vaklemez
Egy tiszta helyiségben, függőleges egyirányú áramlással, a falon lévő ízületek miatt általában vannak nagy vak panelek, amelyek turbulens áramlást és helyi visszakapcsolást eredményeznek.
(2) Lámpák
A tiszta helyiségben lévő világítótestek nagyobb hatással lesznek. Mivel a fluoreszkáló lámpának hője a légáram növekedését okozza, a fluoreszkáló lámpa nem lesz turbulens terület. Általában a tiszta helyiségben lévő lámpákat könnycsepp alakúvá tervezték, hogy csökkentsék a lámpáknak a légáramlás szervezésére gyakorolt hatását.
(3) A falak közötti rések
Ha rések vannak a partíciós falak vagy a különböző tisztasági követelményekkel rendelkező mennyezetek között, az alacsony tisztasági követelményekkel rendelkező területekből származó por átvihető a szomszédos területekre, magas tisztasági követelményekkel.
(4) A mechanikus berendezés és a padló vagy a fal közötti távolság
Ha a mechanikus berendezés és a padló vagy a fal közötti rés kicsi, akkor visszapattanási turbulencia történik. Ezért hagyjon rést a berendezés és a fal között, és emelje fel a gépplatformot, hogy elkerülje a közvetlen érintkezést a talajjal.
A postai idő: november 02-2023