A tiszta helyiségeket pormentes helyiségeknek is nevezik. Ezeket a helyiség levegőjében lévő szennyező anyagok, például porrészecskék, káros levegő és baktériumok eltávolítására, valamint a beltéri hőmérséklet, a tisztaság, a beltéri nyomás, a légáramlás sebessége és eloszlása, a zaj, a rezgés, a világítás és a statikus elektromosság egy bizonyos tartományon belüli szabályozására használják. A következőkben főként a tiszta helyiségek tisztítási intézkedéseinek tisztasági követelményeinek eléréséhez szükséges négy feltételt ismertetjük.
1. A levegőellátás tisztasága
Annak érdekében, hogy a levegőellátás tisztasága megfeleljen a követelményeknek, kulcsfontosságú a tisztítórendszer végső szűrőjének teljesítménye és beszerelése. A tisztatéri rendszer végső szűrője általában HEPA szűrőt vagy Sub-HEPA szűrőt használ. A nemzeti szabványok szerint a HEPA szűrők hatékonysága négy osztályba sorolható: A osztály ≥99,9%, B osztály ≥99,99%, C osztály ≥99,999%, D osztály (≥0,1 μm részecskék esetén) ≥99,999% (más néven ultra-HEPA szűrők); a Sub-HEPA szűrők (≥0,5 μm részecskék esetén) 95~99,9%.
2. Légáramlás szervezése
Egy tisztaszoba légáramlási szervezése eltér egy általános légkondicionált helyiségétől. Megköveteli, hogy a legtisztább levegő először a működési területre kerüljön. Feladata a feldolgozott tárgyak szennyeződésének korlátozása és csökkentése. A különböző légáramlási szervezéseknek megvannak a saját jellemzőik és hatókörük: Függőleges egyirányú áramlás: Mindkettő egyenletes lefelé irányuló légáramlást biztosít, megkönnyíti a technológiai berendezések elrendezését, erős öntisztító képességgel rendelkezik, és egyszerűsíti az olyan általános létesítményeket, mint a személyes tisztaszobai létesítmények. A négy levegőellátási módszernek is megvannak a maga előnyei és hátrányai: a teljesen fedett HEPA szűrők alacsony ellenállással és hosszú szűrőcsere-ciklussal rendelkeznek, de a mennyezeti szerkezet összetett és a költségek magasak; az oldalról fedett HEPA szűrős felső szállítás és a teljes lyukú lemezes felső szállítás előnyei és hátrányai ellentétesek a teljesen fedett HEPA szűrős felső szállítás előnyeivel és hátrányaival. Ezek közül a teljes lyukú lemezes felső szállítás hajlamos a por felhalmozódására a nyíláslemez belső felületén, amikor a rendszer nem folyamatosan működik, és a rossz karbantartás hatással van a tisztaságra; A sűrű diffúzor tetejére történő beszállítás keverőréteget igényel, ezért csak 4 m feletti magas tiszta helyiségekhez alkalmas, és jellemzői hasonlóak a teljes lyukú lemezes tetejére történő beszállításhoz; a mindkét oldalon rácsos lemezek és a falak alján egyenletesen elrendezett visszatérő levegő kimenetek esetében a visszatérő levegő módszer csak olyan tiszta helyiségekhez alkalmas, amelyek nettó távolsága mindkét oldalon kevesebb, mint 6 m; az egyoldali fal alján lévő visszatérő levegő kimenetek csak olyan tiszta helyiségekhez alkalmasak, amelyek falai között kis távolság van (például ≤2~3 m). Vízszintes egyirányú áramlás: csak az első munkaterület éri el a 100-as tisztasági szintet. Amikor a levegő a másik oldalra áramlik, a porkoncentráció fokozatosan növekszik. Ezért csak olyan tiszta helyiségekhez alkalmas, ahol eltérő tisztasági követelmények vannak ugyanazon folyamat esetén. A HEPA szűrők helyi elosztása a levegőellátó falon csökkentheti a HEPA szűrők használatát és megtakaríthatja a kezdeti beruházást, de helyi területeken örvények lehetnek. Turbulens légáramlás: A nyílásos lemezek felső beszállításának és a sűrű diffúzorok felső beszállításának jellemzői megegyeznek a fent említettekkel. Az oldalsó bevezetés előnyei az egyszerű csővezeték-elrendezés, a műszaki közbenső réteg hiánya, az alacsony költség és a régi gyárak felújításának elősegítése. A hátrányok a nagy szélsebesség a munkaterületen, és a porkoncentráció a szél felőli oldalon magasabb, mint a szél felőli oldalon. A HEPA szűrő kimeneteinek felső bevezetésénél az egyszerű rendszer előnyei a HEPA szűrő mögötti csővezetékek hiánya, valamint a tiszta légáramlás közvetlenül a munkaterületre történő szállítása, de a tiszta légáramlás lassan diffúz, és a munkaterületen egyenletesebb a légáramlás. Ha azonban több levegőkivezető nyílás egyenletesen van elrendezve, vagy diffúzorokkal ellátott HEPA szűrő kimeneteket használnak, a munkaterületen a légáramlás is egyenletesebbé tehető. Ha azonban a rendszer nem folyamatosan működik, a diffúzor hajlamos a por felhalmozódására.
3. Levegőellátás térfogata vagy légsebesség
A megfelelő szellőztetési térfogatnak hígítania és eltávolítania kell a beltéri szennyezett levegőt. A különböző tisztasági követelményeknek megfelelően, ha a tisztaszoba nettó belmagassága magas, a szellőztetési gyakoriságot megfelelően növelni kell. Ezek közül az 1 millió tisztaszoba szellőztetési térfogatát a nagy hatékonyságú tisztaszobai rendszer szerint, a többit pedig a nagy hatékonyságú tisztaszobai rendszer szerint kell figyelembe venni; ha a 100 000-es osztályú tisztaszoba HEPA szűrőit a gépházban koncentrálják, vagy az al-HEPA szűrőket a rendszer végén használják, a szellőztetési gyakoriság 10%-kal és 20%-kal növelhető.
4. Statikus nyomáskülönbség
A tisztatérben egy bizonyos pozitív nyomás fenntartása az egyik alapvető feltétel annak biztosítására, hogy a tisztatér ne legyen szennyezett, vagy csak minimális mértékben szennyezett, hogy fenntartsák a tervezett tisztasági szintet. Még egy negatív nyomású tisztatér esetén is rendelkeznie kell egy szomszédos helyiséggel vagy lakosztállyal, amelynek tisztasági szintje nem alacsonyabb, mint a negatív nyomású tisztatér tisztaságának fenntartása érdekében. A tisztatér pozitív nyomásértéke azt az értéket jelenti, amikor a beltéri statikus nyomás nagyobb, mint a kültéri statikus nyomás, amikor minden ajtó és ablak zárva van. Ezt úgy érik el, hogy a tisztítórendszer levegőellátásának térfogata nagyobb, mint a visszatérő levegő és a kipufogó levegő térfogata. A tisztatér pozitív nyomásértékének biztosítása érdekében a legjobb, ha a levegőellátást, a visszatérő levegőt és az elszívó ventilátorokat összekapcsolják. A rendszer bekapcsolásakor először a befúvó ventilátor indul el, majd a visszatérő és az elszívó ventilátor; a rendszer kikapcsolásakor először az elszívó ventilátort, majd a visszatérő és a befúvó ventilátort kapcsolják ki, hogy megakadályozzák a tisztatér szennyeződését a rendszer be- és kikapcsolásakor. A tisztaszoba pozitív nyomásának fenntartásához szükséges levegőmennyiséget főként a karbantartó szerkezet tömítettsége határozza meg. Kínában a tisztaszobák építésének korai szakaszában a burkolati szerkezet gyenge tömítettsége miatt óránként 2-6 levegőbevezetésre volt szükség a ≥5 Pa pozitív nyomás fenntartásához; jelenleg a karbantartó szerkezet tömítettsége jelentősen javult, és ugyanazon pozitív nyomás fenntartásához mindössze óránként 1-2 levegőbevezetésre van szükség; ≥10 Pa fenntartásához pedig mindössze óránként 2-3 levegőbevezetésre van szükség. A nemzeti tervezési előírások előírják, hogy a különböző szintű tisztaszobák, valamint a tiszta és nem tiszta területek közötti statikus nyomáskülönbség nem lehet kisebb 0,5 mmH2O-nál (~5 Pa), a tiszta terület és a kültéri statikus nyomáskülönbség pedig nem lehet kisebb 1,0 mmH2O-nál (~10 Pa).
Közzététel ideje: 2025. márc. 03.