1. Tisztaság
A levegőben lévő részecskék méretének és mennyiségének jellemzésére használják egységnyi tértérfogatban, és szabvány a tér tisztaságának megkülönböztetésére.
2. Porkoncentráció
A lebegő részecskék száma egységnyi levegőtérfogatban.
3. Üres állapot
A tisztatéri létesítmény megépült, és minden áram be van kötve és működik, de nincs gyártóberendezés, anyag vagy személyzet.
4. Statikus állapot
Mindegyik elkészült és teljesen felszerelt, a tisztító légkondicionáló rendszer normálisan működik, és nincs személyzet a helyszínen.A tiszta helyiség állapota, ahol a gyártóberendezést telepítették, de nem működik;vagy a tisztaszoba állapota, miután a gyártóberendezés működése leállt és a meghatározott ideig öntisztult;vagy a tisztatér állapota mindkét fél (az építtető és az építtető) által egyeztetett módon működik.
5. Dinamikus állapot
A létesítmény az előírásoknak megfelelően működik, meghatározott személyzet jelenléte van, és a munkát egyeztetett feltételek szerint végzi.
6. Öntisztulási idő
Ez azt az időt jelenti, amikor a tisztatér a tervezett légcsere frekvenciának megfelelően megkezdi a helyiség levegőellátását, és a tisztatérben a porkoncentráció eléri a tervezett tisztasági szintet.Amit alább látni fogunk, az a tiszta helyiségek különböző szintjei öntisztulási ideje.
①.100 000 osztály: legfeljebb 40 perc (perc);
②.10000 osztály: legfeljebb 30 perc (perc);
③.1000 osztály: legfeljebb 20 perc (perc).
④.100. osztály: legfeljebb 3 perc (perc).
7. Légzsilip szoba
A tisztaszoba bejáratánál és kijáratánál légzsilip helyiség van felszerelve, amely megakadályozza a szennyezett levegő áramlását kívül vagy a szomszédos helyiségekben, és szabályozza a nyomáskülönbséget.
8. Légzuhany
Egy helyiség, ahol a személyzetet bizonyos eljárások szerint megtisztítják, mielőtt a tiszta területre lépnének.Azáltal, hogy ventilátorokat, szűrőket és vezérlőrendszereket telepítenek a tiszta helyiségbe belépő emberek teljes testének tisztítására, ez a külső szennyezés csökkentésének egyik hatékony módja.
9. Teherszállító légzuhany
Egy helyiség, ahol az anyagokat bizonyos eljárások szerint megtisztítják, mielőtt a tiszta területre lépnének.A ventilátorok, szűrők és vezérlőrendszerek felszerelése az anyagok tisztítására a külső szennyezés csökkentésének egyik hatékony módja.
10. Tisztatéri ruha
Tiszta, alacsony porkibocsátású ruházatot használnak a dolgozók által termelt részecskék minimalizálására.
11. HEPA szűrő
A névleges légtérfogat mellett a légszűrő 99,9%-nál nagyobb összegyűjtési hatásfokkal rendelkezik a 0,3 μm vagy nagyobb részecskeméretű részecskék esetében, és a légáramlási ellenállása kisebb, mint 250 Pa.
12. Ultra HEPA szűrő
Légszűrő 99,999% feletti begyűjtési hatékonysággal a 0,1-0,2 μm-es részecskeméretű részecskékhez, és a légáramlási ellenállása kisebb, mint 280 Pa névleges levegőmennyiség mellett.
Feladás időpontja: 2024. március 21