A környezetvédelem egyre nagyobb figyelmet kap, különösen a ködös időjárás miatt. A tisztatéri mérnöki munka az egyik környezetvédelmi intézkedés. Hogyan használható a tisztatéri mérnöki munka a környezetvédelemben? Beszéljünk a tisztatéri mérnöki munka szabályozásáról.
Hőmérséklet és páratartalom szabályozása tiszta helyiségben
A tiszta terek hőmérsékletét és páratartalmát elsősorban a folyamatkövetelmények határozzák meg, de a folyamatkövetelmények teljesítésekor figyelembe kell venni az emberi komfortérzetet is. A levegőtisztasági követelmények javulásával egyre szigorúbbak a hőmérsékletre és páratartalomra vonatkozó követelmények a folyamatokban.
Általános elvként elmondható, hogy a megmunkálás pontosságának növekedésével a hőmérséklet-ingadozási tartományra vonatkozó követelmények egyre kisebbek. Például a nagyméretű integrált áramkörök litográfiai és expozíciós folyamatában a maszkanyagként használt üveg és szilícium ostyák hőtágulási együtthatójának különbsége egyre kisebb.
Egy 100 μm átmérőjű szilíciumlap 0,24 μm lineáris tágulást okoz, amikor a hőmérséklet 1 fokkal emelkedik. Ezért állandó ± 0,1 ℃ hőmérsékletre van szükség, és a páratartalom általában alacsony, mert az izzadás után a termék szennyeződik, különösen a nátriumtól félő félvezetőgyártó műhelyekben. Az ilyen típusú műhelyekben a hőmérséklet nem haladhatja meg a 25 ℃-ot.
A túlzott páratartalom további problémákat okoz. Amikor a relatív páratartalom meghaladja az 55%-ot, a hűtővízcső falán kondenzáció alakul ki. Ha ez precíziós eszközökben vagy áramkörökben fordul elő, különféle baleseteket okozhat. 50%-os relatív páratartalom esetén könnyen rozsdásodhat. Ezenkívül, ha a páratartalom túl magas, a szilíciumlapka felületére tapadó por kémiailag adszorbeálódik a levegőben lévő vízmolekulákon keresztül a felületen, amit nehéz eltávolítani.
Minél magasabb a relatív páratartalom, annál nehezebb eltávolítani a tapadást. Azonban, ha a relatív páratartalom 30% alatt van, a részecskék az elektrosztatikus erő hatására könnyen adszorbeálódnak a felületen, és számos félvezető eszköz hajlamos a meghibásodásra. A szilícium ostyák gyártásának optimális hőmérsékleti tartománya 35-45%.
Légnyomásellenőrzéstiszta szobában
A legtöbb tiszta térben a külső szennyeződések bejutásának megakadályozása érdekében a belső nyomást (statikus nyomást) magasabban kell tartani, mint a külső nyomást (statikus nyomást). A nyomáskülönbség fenntartásának általában a következő elveknek kell megfelelnie:
1. A tiszta terekben a nyomásnak magasabbnak kell lennie, mint a nem tiszta terekben.
2. A magas tisztasági fokú helyiségekben a nyomásnak magasabbnak kell lennie, mint a szomszédos, alacsony tisztasági fokú helyiségekben.
3. A tisztahelyiségek közötti ajtókat a magas tisztasági fokú helyiségek felé kell nyitni.
A nyomáskülönbség fenntartása a friss levegő mennyiségétől függ, amelynek képesnek kell lennie kompenzálni a résből a nyomáskülönbség alatti levegőszivárgást. Tehát a nyomáskülönbség fizikai jelentése a tisztatér különböző résein keresztüli szivárgó (vagy beszivárgó) levegőáramlás ellenállása.
Közzététel ideje: 2023. július 21.