A környezetvédelemre egyre nagyobb figyelmet kell fordítani, különösen a köd időjárási viszonyok növekedésével. A tiszta szoba tervezése az egyik környezetvédelmi intézkedés. Hogyan lehet használni a tiszta szoba tervezését a környezetvédelemben való jó munka elvégzéséhez? Beszéljünk a tiszta helyiségmérnöki irányításról.
Hőmérséklet és páratartalom szabályozása tiszta helyiségben
A tiszta terek hőmérsékletét és páratartalmát elsősorban a folyamatkövetelmények alapján határozzák meg, de amikor az eljárási folyamat követelményeit, az emberi kényelmet figyelembe kell venni. A légtisztítási követelmények javításával a hőmérséklet és a páratartalom szigorúbb követelményei vannak a folyamatban.
Általános elvként, a feldolgozás egyre növekvő pontosságának köszönhetően a hőmérsékleti ingadozási tartományra vonatkozó követelmények egyre kisebbek. Például a nagyméretű integrált áramkör előállításának litográfiai és expozíciós folyamatában a maszk anyagként használt üveg- és szilícium ostyák hőtágulási együtthatójának különbsége egyre kicsi.
A 100 μm átmérőjű szilikon ostya 0,24 μm lineáris tágulást okoz, ha a hőmérséklet 1 fokra emelkedik. Ezért állandó ± 0,1 ℃ hőmérsékletre van szükség, és a páratartalom értéke általában alacsony, mert az izzadás után a termék szennyeződik, különösen a nátriumtól félő félvezető műhelyekben. Az ilyen típusú műhely nem haladhatja meg a 25 ℃ -t.
A túlzott páratartalom több problémát okoz. Ha a relatív páratartalom meghaladja az 55%-ot, a hűtővíz -cső falán kondenzáció alakul ki. Ha precíziós eszközökben vagy áramkörökben fordul elő, akkor különféle baleseteket okozhat. Ha a relatív páratartalom 50%, akkor könnyű rozsdásodni. Ezenkívül, ha a páratartalom túl magas, a szilícium ostya felületéhez tapadó por kémiailag adszorbeálódik a felszínen a levegőben lévő vízmolekulák révén, amelyet nehéz eltávolítani.
Minél magasabb a relatív páratartalom, annál nehezebb eltávolítani a tapadást. Ha azonban a relatív páratartalom 30%alatt van, a részecskék az elektrosztatikus erő hatása miatt könnyen adszorbeálódnak a felszínen, és számos félvezető eszköz hajlamos a lebontásra. A szilícium ostya előállításának optimális hőmérsékleti tartománya 35-45%.
Légnyomásellenőrzéstiszta szobában
A legtisztább terek esetében a külső szennyezés behatolásának megakadályozása érdekében a belső nyomás (statikus nyomás) magasabb (statikus nyomás) magasabb tartását kell fenntartani. A nyomáskülönbség fenntartásának általában meg kell felelnie a következő alapelveknek:
1. A tiszta terekben a nyomásnak magasabbnak kell lennie, mint a nem tiszta terekben.
2. A nagy tisztasági szintű terek nyomásának magasabbnak kell lennie, mint a szomszédos terekben, alacsony tisztasági szinttel.
3.
A nyomáskülönbség fenntartása a friss levegő mennyiségétől függ, amelynek képesnek kell lennie arra, hogy kompenzálja a légszivárgást a résből e nyomáskülönbség alatt. Tehát a nyomáskülönbség fizikai jelentése a szivárgás (vagy infiltráció) légáramának ellenállása a tiszta helyiség különböző hiányosságain keresztül.
A postai idő: július-21-2023