A környezetvédelemre egyre nagyobb figyelmet fordítanak, különösen a ködös időjárás fokozódásával.A tisztatér-mérnökség az egyik környezetvédelmi intézkedés.Hogyan használjuk a tisztatéri mérnöki munkát a környezetvédelem terén?Beszéljünk a tisztatéri mérnöki vezérlésről.
Hőmérséklet és páratartalom szabályozás tiszta helyiségben
A tiszta terek hőmérsékletét és páratartalmát elsősorban a folyamatkövetelmények határozzák meg, de a folyamatkövetelmények teljesítésekor az emberi komfortot is figyelembe kell venni.A levegőtisztasági követelmények javulásával a folyamatban a hőmérséklet és páratartalom szigorításának tendenciája tapasztalható.
Általános elv, hogy a feldolgozás pontosabbá válása miatt a hőmérséklet-ingadozási tartományra vonatkozó követelmények egyre kisebbek.Például a nagyméretű integrált áramkör-gyártás litográfiás és expozíciós folyamatában a maszkanyagként használt üveg és szilícium lapkák közötti hőtágulási együttható különbsége egyre kisebb.
A 100 μm átmérőjű szilícium lapka 0,24 μm lineáris tágulást okoz, ha a hőmérséklet 1 fokkal emelkedik.Ezért állandó ± 0,1 ℃ hőmérséklet szükséges, és a páratartalom általában alacsony, mert izzadás után a termék szennyezett lesz, különösen a nátriumtól félő félvezető műhelyekben.Az ilyen típusú műhely hőmérséklete nem haladhatja meg a 25 ℃-ot.
A túlzott páratartalom több problémát okoz.Ha a relatív páratartalom meghaladja az 55%-ot, páralecsapódás képződik a hűtővízcső falán.Ha precíziós eszközökben vagy áramkörökben fordul elő, különféle baleseteket okozhat.Ha a relatív páratartalom 50%, könnyen rozsdásodik.Ezen túlmenően, ha a páratartalom túl magas, a szilícium ostya felületére tapadt por kémiai úton adszorbeálódik a felületen a levegőben lévő vízmolekulákon keresztül, amit nehéz eltávolítani.
Minél magasabb a relatív páratartalom, annál nehezebb eltávolítani a tapadást.Ha azonban a relatív páratartalom 30% alatti, az elektrosztatikus erő hatására a részecskék is könnyen adszorbeálódnak a felületen, és nagyszámú félvezető eszköz hajlamos a tönkremenetelre.A szilícium lapkagyártás optimális hőmérsékleti tartománya 35-45%.
Levegő nyomásellenőrzéstiszta szobában
A legtöbb tiszta térben a külső szennyeződések behatolásának megakadályozása érdekében a belső nyomást (statikus nyomás) magasabban kell tartani, mint a külső nyomást (statikus nyomás).A nyomáskülönbség fenntartásának általában meg kell felelnie a következő elveknek:
1. A tiszta terekben a nyomásnak nagyobbnak kell lennie, mint a nem tiszta terekben.
2. A magas tisztaságú terekben a nyomásnak nagyobbnak kell lennie, mint a szomszédos, alacsony tisztaságú terekben.
3. A tiszta helyiségek közötti ajtókat a magas tisztaságú helyiségek felé kell nyitni.
A nyomáskülönbség fenntartása a friss levegő mennyiségétől függ, aminek képesnek kell lennie arra, hogy a nyomáskülönbség alatt kompenzálja a résből a levegő szivárgását.Tehát a nyomáskülönbség fizikai jelentése a szivárgó (vagy beszivárgó) levegő áramlásának ellenállása a tiszta helyiség különböző résein keresztül.
Feladás időpontja: 2023. július 21